Нашельский А.Я. Производство полупроводниковых материалов

Учебное пособие. М.: Металлургия, 1982. - 312 с. Изложены краткие сведения об основных материалах современной полупроводниковой электроники, строении и росте кристаллов, основных положениях физики полупроводников, свойствах и марках монокристаллов важнейших полупроводников. Приводятся данные об основных и вспомогательных материалах полупроводникового производства, процессах и технологии поликристаллических полупроводников. Рассмотрены основные положения технологии выращивания однородно легированных монокристаллов с совершенной структурой методами направленной кристаллизации, приведены примеры расчетов легирования, а также вопросы экономики производства монокристаллов полупроводников, охраны труда и техники безопасности. Для подготовки рабочих на производстве и учащихся ПТУ. Предисловие
Общие сведения о полупроводниках
Полупроводниковая электроника и ее основные материалы
Диаграммы состояния полупроводниковых систем
Строение кристаллов и их дефекты
Рост кристаллов
Основные положения физики полупроводников
Свойства и марки важнейших полупроводников
Материалы полупроводникового производства
Чистое вещество
Основные и вспомогательные материалы
Процессы технологии поликристаллических полупроводников
Получение поликристаллических полупроводников
Технологические основы получения монокристаллов
Расчеты легирования
Компоновка
Получение однородно легированных монокристаллов
Получение монокристаллов с совершенной структурой
Получение высокочистых монокристаллов
Аппаратура для выращивания монокристаллов
Экономика и организация труда в полупроводниковой технике
Экономика производства монокристаллов
Некоторые вопросы охраны труда и техники безопасности
Рекомендательный библиографический список
Приложение