Учебное пособие для повышения квалификации ИТР. — М.: Металлургия,
1987. — 336 с.
Систематизирование изложены современные технологии важнейших
полупроводниковых материалов. Рассмотрены подготовка основных и
вспомогательных материалов, выращивание однородно легированных
монокристаллов с совершенной структурой, получение высокочистых
поликристаллических полупроводников, эпитаксиальных слоев, гомо- и
гетероструктур методами газовой и жидкостной эпитаксии,
изготовление пластин и подложек.
Учебное пособие предназначено для повышения квалификации и переподготовки мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового производства. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по специальностям: «Технология специальных материалов электронной техники», «Полупроводники и диэлектрики», «Полупроводниковые приборы». Оглавление Полупроводники
Общие сведения о полупроводниках
Физико-химические свойства важнейших
Основные и вспомогательные материалы полупроводникового производства
Чистое вещество
Подготовка основных материалов
Подготовка вспомогательных материалов Технология поликристаллических полупроводников
Германий
Кремний
Полупроводниковые соединения Технология объемных монокристаллов полупроводников
Методы выращивания монокристаллов
Распределение примеси в процессах направленной
Легирование и компоновка
Получение однородно легированных
Получение высокочистых монокристаллов
Получение монокристаллов с совершенной структурой
Аппаратура для выращивания объемных Технология подложек
Подготовка монокристаллов к резке на пластины
Резка монокристаллов
Шлифовка пластин
Полировка пластин
Межоперационная и финишная очистка пластин
Контроль технологического процесса изготовления подложек
и их качества Технология эпитаксиальных структур
Получение однослойных структур кремния и германия из газовой фазы
Получение эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений
Учебное пособие предназначено для повышения квалификации и переподготовки мастеров, начальников участков и цехов полупроводникового производства. Может быть полезна студентам вузов, обучающимся по специальностям: «Технология специальных материалов электронной техники», «Полупроводники и диэлектрики», «Полупроводниковые приборы». Оглавление Полупроводники
Общие сведения о полупроводниках
Физико-химические свойства важнейших
Основные и вспомогательные материалы полупроводникового производства
Чистое вещество
Подготовка основных материалов
Подготовка вспомогательных материалов Технология поликристаллических полупроводников
Германий
Кремний
Полупроводниковые соединения Технология объемных монокристаллов полупроводников
Методы выращивания монокристаллов
Распределение примеси в процессах направленной
Легирование и компоновка
Получение однородно легированных
Получение высокочистых монокристаллов
Получение монокристаллов с совершенной структурой
Аппаратура для выращивания объемных Технология подложек
Подготовка монокристаллов к резке на пластины
Резка монокристаллов
Шлифовка пластин
Полировка пластин
Межоперационная и финишная очистка пластин
Контроль технологического процесса изготовления подложек
и их качества Технология эпитаксиальных структур
Получение однослойных структур кремния и германия из газовой фазы
Получение эпитаксиальных структур полупроводниковых соединений