Презентация
  • формат ppt
  • размер 24,40 МБ
  • добавлен 02 февраля 2014 г.
Наукоемкие технологии России и мира
НИЯУ МИФИ, М., проф. Патрикеев Л.Н., 2012 г., 113 слайдов
Кафедра 27 микро- и наноэлектроники
От микро к наноэлектронике
Фотолитография
Изготовление фотошаблонов
Структуры базовых ИЭТ
Базовый технологический процесс создания ИМС на кремнии ( Si )
Резка, шлифовка и полировка кристаллов Si
Легирование методом термической диффузии примесей