Погребняк А.Д., Тюрин Ю.Н. Модификация свойств материалов и осаждение покрытий с помощью плазменных струй

В монографии рассмотрены физические основы и математическое моделирование процессов, происходящих при получении покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. Основное внимание уделено процессам транспортировки плазмы металлов в разреженной газовой среде, электрообмену движущейся плазмы с поверхностью твердого тела и кинетике гетерогенного плазмохимического синтеза покрытий из ускоренных плазменных потоков. На основе новых физических представлений...

Москва, Атомиздат, 1972, 304 с. В книге систематизированы сведения об устройстве, физических основах действия, свойствах и параметрах плазменных источников ионов - приборов, которые нашли широкое применение в различных областях науки и техники. Рассматриваются плазменные источники атомарных и молекулярных ионов водорода, многозарядных ионов, отрицательных ионов, ионов тугоплавких элементов, а также способы формирования ионных пучков, нейтрализаци...

М.: Атомиздат 1968. - 73 с. Книга будет полезна физикам и инженерам, проводящим измерения на различных плазменных установках, а также студентам и аспирантам, специализирующимся в области физики плазмы.

Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Специальность 01.04.07 – физика конденсированного состояния. Астана, 2010, 24с. Работа выполнена в Восточно-Казахстанском государственном техническом университете им. Д. Серикбаева и Сумском институте модификации поверхности (г. Сумы, Украина). Диссертационная работа посвящена изучению изменений структуры, элементного состава, фазовых, морфологических и физико...

Изд: Машиностроение; Год: 1985; Стр. : 264; В монографии впервые обобщены результаты теоретических и экспериментальных исследований сверхзвуковых струй плазмы различных источников и их взаимодействия с преградами. Рассмотрены основные физические процессы в струях плазмы, плазмодинамика струй, свободное расширение плазмы. Значительное внимание уделено построению физических и математических моделей, изучению влияния релаксационных процессов на стру...

Лектор - Кривобоков В. П. Томский политехнический университет Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий 2010г.75 цв. слайдов с фотографиями установок (ЯШМА, БУЛАТ и др. ), ЭРД, трековых мембран и пр.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, с.223 - 238 В обзоре рассмотрены основные методы получения диоксида титана в виде тонких пленок. Результаты анализа литературных данных позволяет сделать заключение о том, что наиболее предпочтительным методом получения фотокаталитических пленок диоксида титана является процесс осаждения потоков плазмы вакуумной дуги в присутствии кислорода. Наилучшими свойствами обладают пленки, получаемые с п...

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142 Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа Булат и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплит...

Academic Press, San Diego, 1994, 322 c. В книге представлены несколько больших обзоров: 1) Конструкция плазменных источников высокой плотности для обработки материалов 2) Плазменные источники на основе электрон-циклотронного резонанса и их использование для плазменного осаждения тонких пленок 3) Несбалансированное магнетронное распыление 4) Формирование частиц (пылевых) в технологической плазме.

San Diego, Academic Press, 1999, 419 p. Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы: 1) Физика распыления 2) Плазменные системы 3) Планарный магнетрон 4) Распылительные устройства 5) Направленное осаждение 6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления 7) Ионизованное маг...