San Diego, Academic Press, 1999, 419 p.
Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы:
1) Физика распыления
2) Плазменные системы
3) Планарный магнетрон
4) Распылительные устройства
5) Направленное осаждение
6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления
7) Ионизованное магнетронное распылительное осаждение.
8) PVD материалы и процессы
9) Процесс моделирования магнетронного осаждения
10) Распылительные мишени
Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы:
1) Физика распыления
2) Плазменные системы
3) Планарный магнетрон
4) Распылительные устройства
5) Направленное осаждение
6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления
7) Ионизованное магнетронное распылительное осаждение.
8) PVD материалы и процессы
9) Процесс моделирования магнетронного осаждения
10) Распылительные мишени