Приборы одноэлектроники и микроактюаторы

Москва, МГТУ МИРЭА, 2013. - 15 с.
Преподаватель: доц. Савицкий В.А.
Предмет: микросистемная техника и электроника.
Факультет: электроники.
Специальность: электроника и микроэлектроника.
Введение. Эффект одноэлектронного туннелирования. Микроэлектромеханические системы (МЭМС).
Приборы одноэлектроники.
Микроактюаторы. Емкостные актюаторы.