Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

СФУ, Красноярск/Россия, Кафедра приборостроения и наноэлектроники, Фенькова Н. Б., 2015, 43 стр., 4 курс. Дисциплина "Основы проектирования электронной компонентной базы" Техническое задание: разработать технологическую инструкцию на изготовление барьерного автогенератора. Входной контроль подложек.
Подготовка поверхности подложки.
Очистка подложек.
Изготовление слоя резисторов I группы.
Общие положения.
Напыление слоя кермет К50-С.
Фотолитография и травление.
Контроль.
Межоперационная очистка.
Изготовление слоя нижних обкладок конденсаторов.
Напыление слоя Cr-Al.
Фотолитография и травление.
Контроль.
Межоперационная очистка.
Изготовление слоя диэлектрика.
Изготовление слоя технологических перемычек.
Напыление слоя Cr-Cu.
Фотолитография и травление.
Контроль.
Межоперационная очистка.
Электрохимическое анодирование Al.
Травление технологических перемычек.
Контроль.
Межоперационная очистка.
Изготовление слоя резисторов II группы, верхних обкладок конденсаторов, контактных площадок и проводников.
Изготовление слоя Cr (ρ0=100 Ом/квадрат), Al, Ni.
Фотолитография №1, травление №1 (для верхних обкладок конденсаторов, проводников и контактных площадок).
Фотолитография №2, травление №2 (для слоя резисторов).
Контроль.
Межоперационная очистка.
Изготовление защитного слоя.
Контроль параметров плёночных элементов.
Монтажно-сборочные операции.
Резка пластин на модули.
Установка платы на монтажную площадку корпуса.
Установка навесных элементов.
Монтаж выводов навесных элементов.
Монтаж выводов микросхемы на ножки корпуса.
Проверка работы микросхемы.
Герметизация корпуса.
Маркировка.
Список используемой литературы. Лист 1 - Топологический чертеж (ф. А3, jpg)