Степанов И.Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов

Дисертация

формат pdf
размер 3.88 МБ
добавлен 12 июля 2011 г.

Степанов И.Б. Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов

Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук Томск, 2010. 47с. Специальность 01.04.20 – физика пучков заряженных частиц и ускорительная техника
Работа выполнена в ГОУ ВПО "Национальный исследовательский "Томский
политехнический университет"
Цель работы состояла в проведении исследований процессов генерации ионных
потоков с использованием короткоимпульсных высокочастотных потенциалов
смещения и многоэлектродных систем формирования пучков из плазмы газового
разряда и непрерывного вакуумно-дугового разряда в условиях её очистки от
микрокапельной фракции и создании на основе полученных результатов новых
методов плазменно-иммерсионной ионной имплантации и (или) осаждения покрытий,
а также в разработке методов и оборудования для диагностики элементного состава и
зарядового состояния ионов в плазме, в разработке ионных источников и систем
очистки плазмы непрерывного вакуумно-дугового разряда от микрокапельной
фракции, в создании серии установок для реализации комбинированных технологий
ионно-лучевой и ионно-плазменной обработки материалов.

Похожие разделы

Смотрите также

Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков Ме плазмы (обзор)

формат pdf
размер 3.15 МБ
добавлен 12 мая 2010 г.

М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

Беграмбеков Л.Б. Модификация поверхности твердых тел при ионном и плазменном воздействии

формат pdf
размер 5.75 МБ
добавлен 17 октября 2009 г.

Беграмбеков Л. Б. Модификация поверхности твердых тел при ионном и плазменном воздействии. Учебное пособие. М: МИФИ, 2001. - 34 с. В учебном пособии описываются условия и излагаются основные закономерности развития наиболее значительных изменений рельефа поверхности твердых тел при ионном и плазменном облучении. Рассмотрены различные виды рельефа, которые формируются при подобном воздействии. Приводятся модели явлений. При составлении посо...

Гасанов И.С. Плазменная и пучковая технология

формат pdf
размер 872 КБ
добавлен 08 июля 2010 г.

Гасанов Ильхам Солтан оглы. Плазменная и пучковая технология. Изд-во: "Элм", Баку 2007, 175 стр. В книге рассматриваются физические процессы, лежащие в основе работы ионных и плазменных источников, а также их конструкции и функциональные параметры. Описываются методы масс-анализа состава ионных пучков и остаточного газа в вакуумной системе. Характеризуются механизмы взаимодействия ускоренных ионов и электронов с веществом, способы осаждения тонк...

Дипломная работа - Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ

degree

формат rtf
размер 83.81 МБ
добавлен 26 мая 2011 г.

Автор, вуз, год написания неизвестны. 92с. Библ. 65 наим. Содержание: Введение Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования Физические основы процесса ионной имплантации газов в металлы и сплавы Основные характеристики метода ионной имплантации Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью Модель для расчета пробегов ионов в материале подложки Ядерное торможение иона в материале Электронное торможение иона в материале Рас...

Ивановский Г.Ф. Ионно - Плазменная обработка материалов

формат djvu
размер 82.41 МБ
добавлен 12 июля 2010 г.

М.: Радио и связь, 1986, 232 стр. Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки, рассматриваются характеристики оборудования дл...

Каплан С.А., Цытович В.Н. Плазменная астрофизика

формат djv
размер 5.95 МБ
добавлен 24 марта 2010 г.

М.: Издательство "Наука", 1972. - 440 с. (Серия "Проблемы теоретической астрофизики") Фундаментальный труд по физике плазменных процессов во Вселенной. Авторы излагают как общие представления о физике плазмы, так и наблюдательные приложения теории. Содержание: Глава I - Физика плазменной турбулентности Глава II - Спорадическое радиоизлучение Солнца (турбулентные процессы в нерелятивистской плазме) Глава III - Ядра галактик, радиогалактики, кв...

Савкин К.П. Определение максимальной эффективности извлечения ионов из плазмы вакуумного дугового разряда

Дисертация

формат pdf
размер 449.83 КБ
добавлен 27 мая 2011 г.

Приведены результаты определения максимальной эффективности извлечения ионов из плазмы вакуумного дугового разряда для следующих катодных материалов: C, Mg, Al,Ti, Co, Cu, Zr, Cd, In, Sn, Sm, Ta, W, Pt, Pb, Bi. Показано, что в зависимости от катодного материала значения нормированных ионных токов Аi изменяются от 5 до 19%. На основе полученных Аi определены значения коэффициентов удельной ионной эрозии Вi для исследованных материалов без влияния...

Степанов Е.М., Дьячков Б.Г. Ионизация пламени в электрическом поле

Статья

формат djvu
размер 991.43 КБ
добавлен 23 декабря 2010 г.

Степанов Е. М., Дьячков Б. Г. Ионизация пламени в электрическом поле. - М. Металлургия, 1968. - С. 208-311 Даны основы теории горения и распространения пламени. Рассмотрены различные методы изучения электрических свойств пламени. Систематизирован обширный экспериментальный материал о влиянии электромагнитных полей на процесс горения и характеристики распространения пламени. Описана ионизация в пламени и методы её измерения, а также применение эл...

Туманов Ю.Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее

формат djvu
размер 11.19 МБ
добавлен 18 октября 2009 г.

Туманов Ю. Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. — 760 с. Рассмотрены применения технологической плазмы и высокочастотных электромагнитных полей в ядерном топливном цикле (ЯТЦ) и в смежных областях технологии и техники в комбинации с процессами сорбционного, экстракционного и ректификационного аффинажа. Проанализирован уровень развития плаз...

Шулаев В.М., Андреев А.А., Руденко В.П. Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

Статья

формат pdf
размер 261.83 КБ
добавлен 16 июня 2011 г.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142 Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа Булат и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплит...