Методические указания по проведению лабораторной работы. — М.:
Московский Государственный институт электроники и математики (ТУ),
2006. — 18 с.
Целью работы является знакомство с вакуумно-дуговым методом
формирования тонких пленок, выполнение экспериментов по нанесению
пленок на различные подложки указанным методом и измерение
параметров полученных пленочных покрытий.
Для студентов III курса факультета электроники.
Дисциплины - Материаловедение тонких пленок и Технология материалов и изделий электронной техники.
Для студентов III курса факультета электроники.
Дисциплины - Материаловедение тонких пленок и Технология материалов и изделий электронной техники.