Вдовичев С.Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур

Электронное учебно-методическое пособие. – Нижний Новгород, ННГУ, 2012. – 60 с. В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке.
Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 Радиофизика, профиль Электроника, микро- и наноэлектроника и профиль Квантовая радиофизика и квантовая электроника, проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 Радиофизика, магистерская программа Физическая электроника, изучающих курсы Физика сверхпроводников и Физика магнетизма. Содержание
Введение
Осаждение тонких пленок материалов на поверхность подложки
Основы вакуумной техники
Основные методы напыления в тонкопленочной технологии
Плазменные методы обработки
Приложение
Литература