17
2.4.
,
.
,
:
- , 0,35-0,70 ,
( ( Aspect
Ratio, (AR) 2.0 - 3.0)
;
-
,
" " (Top Corner Overhang)
, ;
- (
) -
();
-
AR
(2.0-3.0) (, Ti
TiN),
AR;
- ( AR=2.0-3.0)
(Al W)
;
- ;
-
(0,15-0,25) p-n-;
-
;
-
;
- ,
, ,
, p-n
;
- 4N-6N (99,99%-
99,9999% ) , ,
, 1 .
,
,
,
(PVD PVD\ CVD).
(. in-situ
)
(Etch back), ()