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Applied Materials (
0,35 .
. ,
Spin on Glass (SOG).
, . .
0,4 - 0,5 ,
, SOG -
(),
. 0,5-0,7 ,
, .
APPLIED MATERIALS, , 0,5 - 0,7
,
SOG. ,
SOG
- .
SOG :
- Mel PECVD
SiO
2
0,1 .
3
SiO
2
.
- APCVD SiO
2
, , ( Watkins
Johnson) 1 . ,
.
PECVD APCVD SiO
2
, .
- SOG 0,3
700 .
- SOG APCVD SiO
2
0,8 0,8.
- PECVD SiO
2
1,0 .
-
.
0,4.
,
.
SOG ( "No etchback"). B
Ml PECVD SiO
2
0,3 , SOG,
PECVD .
SOG
M2 M2
.
.
.
,
.
1,5-2,0,