Зыков А.В., Фареник В.И., Юнаков Н.Н. Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий

Практикум

формат pdf
размер 372.01 КБ
добавлен 01 июля 2011 г.

Зыков А.В., Фареник В.И., Юнаков Н.Н. Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий

Учебно-методические указания. Учебно-научный комплекс физических технологий
Харьковского национального университета им. В.Н. Каразина и Научного физико-технологического центра ХГНУ, Харьков, 1999., 22с.
Методические указания могут быть использованы при изучении курсов «Функциональные покрытия», «Современные вакуумно-плазменные технологические системы», которые читаются студентам 4-5 курсов кафедры Физических технологий Физико-технического факультета Харьковского национального университета.

Похожие разделы

Смотрите также

Аксёнов Д.С., Аксёнов И.И., Стрельницкий В.Е. Вакуумно-дуговые источники эрозионной плазмы с магнитными фильтрами: Обзор

Статья

формат pdf
размер 4.28 МБ
добавлен 01 июня 2011 г.

Статья. Опубликована в ВАНТ, 2007, №2, с.190-202 Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических процессах осаждения плёнок микро- и нанометрового диапазонов толщин. Использованы материалы патентов...

Аксенов И.И., Падалка В.Г., Хороших В.М. Формирование потоков Ме плазмы (обзор)

формат pdf
размер 3.15 МБ
добавлен 12 мая 2010 г.

М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

Ефремов А.М., Светцов В.И., Рыбкин В.В. Вакуумно-плазменные процессы и технологии

формат pdf
размер 4.85 МБ
добавлен 27 февраля 2010 г.

Учебное пособие. ГОУВПО Иван. гос. хим. -технол. ун-т. Иваново. 2006. 260 с. Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может...

Захаров А.Н Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки

Дисертация

формат rtf
размер 5.36 МБ
добавлен 02 июля 2011 г.

Автореферет дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. Томск- 2011, 22с. Специальность 05.27.02 - вакуумная и плазменная электроника Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН Цель работы состояла в разработке методов, технологий и эффективного технологического оборудования, в том числе МРС для нанесения энергосберегающих (низкоэмиссионных и электрохромных) тонкопленочн...

Кривобоков В.П. Плазменные покрытия (свойства и применение)

формат pdf
размер 1.69 МБ
добавлен 01 августа 2011 г.

Учебное пособие. - Томск, ТПУ, 2011. - 137 с. В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы и вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены...

Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

формат pdf
размер 11.38 МБ
добавлен 24 июня 2010 г.

Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных...

Туманов Ю.Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее

формат djvu
размер 11.19 МБ
добавлен 18 октября 2009 г.

Туманов Ю. Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. — 760 с. Рассмотрены применения технологической плазмы и высокочастотных электромагнитных полей в ядерном топливном цикле (ЯТЦ) и в смежных областях технологии и техники в комбинации с процессами сорбционного, экстракционного и ректификационного аффинажа. Проанализирован уровень развития плаз...

Хороших В.М. Стационарная вакуумная дуга в технологических системах для обработки поверхности

Статья

формат pdf
размер 446.7 КБ
добавлен 02 мая 2011 г.

Статья. Опубликована в ФIП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19- 24. Библ. - 73наим. В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.

Хороших В.М., Белоус В.А. Пленки диоксида титана для фотокатализа и медицины

Статья

формат pdf
размер 402.3 КБ
добавлен 08 ноября 2011 г.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, с.223 - 238 В обзоре рассмотрены основные методы получения диоксида титана в виде тонких пленок. Результаты анализа литературных данных позволяет сделать заключение о том, что наиболее предпочтительным методом получения фотокаталитических пленок диоксида титана является процесс осаждения потоков плазмы вакуумной дуги в присутствии кислорода. Наилучшими свойствами обладают пленки, получаемые с п...

Шулаев В.М., Андреев А.А., Руденко В.П. Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения

Статья

формат pdf
размер 261.83 КБ
добавлен 16 июня 2011 г.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142 Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа Булат и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплит...