• формат pdf
  • размер 1.69 МБ
  • добавлен 01 августа 2011 г.
Кривобоков В.П. Плазменные покрытия (свойства и применение)
Учебное пособие. - Томск, ТПУ, 2011. - 137 с.

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы и вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.

Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 011200 "Физика" и магистров физики, обучающихся по программам: "Физика плазмы", "Пучковые и плазменные технологии", "Водородная энергетика".
Похожие разделы
Смотрите также

Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов

  • формат pdf
  • размер 5.37 МБ
  • добавлен 06 марта 2011 г.
Москва, Атомиздат, 1972, 304 с. В книге систематизированы сведения об устройстве, физических основах действия, свойствах и параметрах плазменных источников ионов - приборов, которые нашли широкое применение в различных областях науки и техники. Рассматриваются плазменные источники атомарных и молекулярных ионов водорода, многозарядных ионов, отрицательных ионов, ионов тугоплавких элементов, а также способы формирования ионных пучков, нейтрализаци...

Зыков А.В., Фареник В.И., Юнаков Н.Н. Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий

Практикум
  • формат pdf
  • размер 372.01 КБ
  • добавлен 01 июля 2011 г.
Учебно-методические указания. Учебно-научный комплекс физических технологий Харьковского национального университета им. В.Н. Каразина и Научного физико-технологического центра ХГНУ, Харьков, 1999., 22с. Методические указания могут быть использованы при изучении курсов «Функциональные покрытия», «Современные вакуумно-плазменные технологические системы», которые читаются студентам 4-5 курсов кафедры Физических технологий Физико-технического факульт...

Кривобоков В.П. Радиационные и плазменные технологии: терминологический справочник

Справочник
  • формат pdf
  • размер 970.86 КБ
  • добавлен 20 января 2012 г.
Новосибирск: Наука, 2010. - 334 с. Справочник является пособием по терминологии в сфере радиационных и плазменных технологий. Автор попытался собрать, систематизировать и дать определение терминам, используемым в этой области. Словарь содержит более тысячи слов и словосочетаний с переводом на английский язык. Предназначен для специалистов в области физики твердого тела, материаловедения, атомной энергетики и других смежных наук, а также для студе...

Морозов А.И. Введение в плазмодинамику

  • формат pdf
  • размер 8.41 МБ
  • добавлен 26 февраля 2011 г.
М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006. - 576 с. - ISBN: 5-9221-0681-3 Описана иерархия «газовых» моделей классической неплотной плазмы. В рамках этих моделей рассматриваются основные плазменные системы и их практическая реализация: равновесные конфигурации, линейные и ударные волны, стационарные течения, элементы плазмохимии и принципы плазменных лазеров. Дано описание ряда космических объектов: планетарных вихрей, магнитосферы Земли, Солнца. В конце книги описан...

Морозов А.И. Введение в плазмодинамику

  • формат djvu
  • размер 12.11 МБ
  • добавлен 23 сентября 2009 г.
М.: ФИЗМАТЛИТ, 2006 Г. — 576 с. Описана иерархия «газовых» моделей классической неплотной плазмы. В рамках этих моделей рассматриваются основные плазменные системы и их практическая реализация: равновесные конфигурации, линейные и ударные волны, стационарные течения, элементы плазмохимии и принципы плазменных лазеров. Дано описание ряда космических объектов: планетарных вихрей, магнитосферы Земли, Солнца. В конце книги описаны прикладные плазмо...

Презентация - Плазменные покрытия

Презентация
  • формат ppt
  • размер 2.02 МБ
  • добавлен 03 апреля 2011 г.
Презентация -курса лекций "Плазменные покрытия" 32 слайда Кафедра ВЭПТ Лектор Соловьев А. А. Доцент кафедры ВЭПТ, Н. с. Института сильноточной электроники СО РАН

Презентация Радиационные и плазменные технологии обработки материалов

Презентация
  • формат pdf
  • размер 3.62 МБ
  • добавлен 02 июня 2011 г.
Лектор - Кривобоков В. П. Томский политехнический университет Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий 2010г.75 цв. слайдов с фотографиями установок (ЯШМА, БУЛАТ и др. ), ЭРД, трековых мембран и пр.

Туманов Ю.Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее

  • формат djvu
  • размер 11.19 МБ
  • добавлен 18 октября 2009 г.
Туманов Ю. Н. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее. — М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. — 760 с. Рассмотрены применения технологической плазмы и высокочастотных электромагнитных полей в ядерном топливном цикле (ЯТЦ) и в смежных областях технологии и техники в комбинации с процессами сорбционного, экстракционного и ректификационного аффинажа. Проанализирован уровень развития плаз...

Francombe M.H., Vossen J.L. Physics of Thin Films. Plasma Sources for thin film deposition and etching

  • формат pdf
  • размер 36.71 МБ
  • добавлен 05 марта 2011 г.
Academic Press, San Diego, 1994, 322 c. В книге представлены несколько больших обзоров: 1) Конструкция плазменных источников высокой плотности для обработки материалов 2) Плазменные источники на основе электрон-циклотронного резонанса и их использование для плазменного осаждения тонких пленок 3) Несбалансированное магнетронное распыление 4) Формирование частиц (пылевых) в технологической плазме.

Powell R.A., Rossnagel S.M. Thin Films

  • формат pdf
  • размер 13.6 МБ
  • добавлен 02 марта 2011 г.
San Diego, Academic Press, 1999, 419 p. Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы: 1) Физика распыления 2) Плазменные системы 3) Планарный магнетрон 4) Распылительные устройства 5) Направленное осаждение 6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления 7) Ионизованное маг...