Горшков О.Н., Михайлов А.Н., Васильев В.К. Применение методов резерфордовского обратного рассеяния ионов и ионно-индуцированного рентгеновского излучения для анализа элементного состава и структурного совершенства твердых тел

Учеб. метод. пособие. — Н. Новгород: Изд-во ННГУ, 2007. — 59 с. Рассмотрены методы исследования элементного состава и структуры твердых тел, основанные на резерфордовском обратном рассеянии быстрых заряженных частиц и анализе ионно-индуцированного характеристического рентгеновского излучения. Кратко изложены физические явления, лежащие в основе указанных методов исследования, наиболее часто применяемых при разработке новых материалов электроники; методики анализа, техническое оснащение экспериментов. Аналитические возможности методов проиллюстрированы экспериментальными данными, полученными при изучении гетерофазных материалов и модифицированных поверхностей полупроводниковых кристаллов.