Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук.
- Москва, ФГУП «НИИФП им. Ф. В. Лукина», 2002. - 111 с.
Специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
Введение
1 Метод объектно-ориентированного сканирования
1.1 Сравнительный анализ систем и методов точного позиционирования
1.2 Ключевая идея метода
1.3 Базовые понятия и определения
1.4 Способы распознавания. Итеративное распознавание особенностей
1.5 Алгоритм сканирования: принцип работы и основные процедуры
Процедура привязки зонда к атому поверхности
Процедура сканирования апертуры и распознавания ближайших соседей
Локальное связывание: процедура определения следующего атома цепочки
Скиппинг: процедура измерения разностей и сегментов
1.6 Распределённая калибровка сканера микроскопа
1.7 Визуализация результатов: стилизёр и сборщик поверхности
1.8 Специфика сканирования разупорядоченной поверхности. Прямое распознавание особенностей.
2 Техника позиционирования зонда по локальным особенностям поверхности
2.1 Перемещение зонда по сетке особенностей в поле точного манипулятора. Маршрутизатор
2.2 Перемещение зонда в поле грубого манипулятора
Связанное движение точного и грубого манипуляторов
Возможные погрешности и способы их устранения
2.3 Автоматический возврат зонда микроскопа в операционную зону
2.4 Автоматическое определение взаимного положения зондов в многозондовых микроскопах.
3 Экспериментальные результаты
Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита
Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита с высоким разрешением
Высокоточные измерения постоянных решётки и кристаллографических направлений на поверхности графита
Оперативное позиционирование на атомной поверхности графита. Оценка нелинейности сканера
Точно локализованная туннельная спектроскопия с малым уровнем шума.
Определение дрейфа микроскопа
Объектно-ориентированное сканирование разупорядоченных поверхностей электрохимически полированного алюминия и осаждённой из плазмы плёнки углерода
Оценка накопленной погрешности
Заключение
Литература
Специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах.
Введение
1 Метод объектно-ориентированного сканирования
1.1 Сравнительный анализ систем и методов точного позиционирования
1.2 Ключевая идея метода
1.3 Базовые понятия и определения
1.4 Способы распознавания. Итеративное распознавание особенностей
1.5 Алгоритм сканирования: принцип работы и основные процедуры
Процедура привязки зонда к атому поверхности
Процедура сканирования апертуры и распознавания ближайших соседей
Локальное связывание: процедура определения следующего атома цепочки
Скиппинг: процедура измерения разностей и сегментов
1.6 Распределённая калибровка сканера микроскопа
1.7 Визуализация результатов: стилизёр и сборщик поверхности
1.8 Специфика сканирования разупорядоченной поверхности. Прямое распознавание особенностей.
2 Техника позиционирования зонда по локальным особенностям поверхности
2.1 Перемещение зонда по сетке особенностей в поле точного манипулятора. Маршрутизатор
2.2 Перемещение зонда в поле грубого манипулятора
Связанное движение точного и грубого манипуляторов
Возможные погрешности и способы их устранения
2.3 Автоматический возврат зонда микроскопа в операционную зону
2.4 Автоматическое определение взаимного положения зондов в многозондовых микроскопах.
3 Экспериментальные результаты
Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита
Объектно-ориентированное сканирование атомного рельефа поверхности графита с высоким разрешением
Высокоточные измерения постоянных решётки и кристаллографических направлений на поверхности графита
Оперативное позиционирование на атомной поверхности графита. Оценка нелинейности сканера
Точно локализованная туннельная спектроскопия с малым уровнем шума.
Определение дрейфа микроскопа
Объектно-ориентированное сканирование разупорядоченных поверхностей электрохимически полированного алюминия и осаждённой из плазмы плёнки углерода
Оценка накопленной погрешности
Заключение
Литература