Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме

формат djvu
размер 3.07 МБ
добавлен 01 сентября 2009 г.

Высшая школа.
1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Смотрите также

Берлин Е.В., Двинин С.А., Сейдман Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок

формат djvu
размер 1.44 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М: Техносфера, 2007. - 176 с. В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного м...

Введенский В.Д., Рязанкин В.П. Вакуумная технология оптического приборостроения

формат pdf
размер 3.19 МБ
добавлен 31 мая 2009 г.

В пособии рассмотрены основные типы тонкослойных оптических покрытий, наносимых в вакууме. Приведены ряд особенносей испарения оксидов металлов при их электронно-лучевом испарении в вакууме. Методами пассивного и активного моделирования процессов нанесения, построены математические модели слоёв с различными выходными функциями. Приводится пример расчёта реального технологического процесса нанесения слоёв в вакууме.

Введенский В.Д., Фурман Ш.А. Автоматизированное нанесение тонкоплёночных интерференционных покрытий в вакууме

формат pdf
размер 23.54 МБ
добавлен 21 июня 2009 г.

В брошюре рассматривается состояние работ в области автоматизированного нанесения тонкослойных интерференционных покрытий в вакууме на установке с управлением от микрокомпьютера. Приводится алгоритм работы установки и прмеры реализации некоторых конструкций покрытий. Даётся математическая модель процесса нанесения слоя оксида титана, полученная на установке BAK-760 (фирма "Balzers") методом планирования эксперимента. Л.: ЛДНТП, 1983, 28 с.

Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии

формат djvu
размер 1 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

М.: Машиностроение, 1989. - 56 с. Рассмотрено применение электронных пучков в электронно- литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно -л...

Данилин Б.С. Вакуум и его применение

формат djvu
размер 1.45 МБ
добавлен 22 января 2010 г.

М.: Трудрезервиздат, 1958 г. , 89 стр. Брошюра дает некоторые элементарные представления о вакууме и важнейших свойствах высокоразреженного газа, знакомит читателя с техникой получения и измерения вакуума, с устройством вакуумных систем и использованием вакуума в различных областях науки, техники и промышленного производства. Брошюра рассчитана на преподавателей и мастеров учебных заведений трудовых резервов. Может быть полезна также инженерно-т...

Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок

формат djvu
размер 4.63 МБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Энергия , 1967. - 312 стр. с илл. В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении т...

Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия

формат pdf
размер 5.37 МБ
добавлен 23 января 2012 г.

М.: Машиностроение, 1987, 208 с.: ил. Изложены теоретические основы способов получения покрытий из сплавов в вакууме, приведены основы технологии нанесения различных покрытий из сплавов на металлы и неметаллы. Обобщены данные исследований влияния условий осаждения покрытий на их пористость и защитные свойства, а также электрохимического поведения покрытий в агрессивных средах. Рассмотрены методы получения вакуумных многокомпонентных пленок и покр...

Лекции по вакуумной технике

Статья

формат doc
размер 1015.5 КБ
добавлен 13 марта 2009 г.

1 и 2 глава. ТГУ, специальность 150202, 150206. Преподаватель Федоров А. Л. 1 глава - физика вакуума: основные понятия и определения, газовые законы; сорбционные явления в вакууме; физические процессы в вакууме, вязкость газов, диффузия в газах, режимы течения газов. 2 глава - способы получения и контроля вакуума. классификация насосов. механические методы откачки. физико-химические методы откачки. контроль давления. измерение газовых потоков. ме...

Минайчев В.Е. Вакуумное оборудование для нанесения пленок

формат djvu
размер 898.2 КБ
добавлен 01 марта 2010 г.

М.: Машиностроение, 1978, 60 с. Кратко рассмотрены вакуумные технологические методы получения тонких пленок, которые находят все большее применение в различных областях науки и техники, а также некоторые прикладные вопросы вакуумной техники. Приведены классификация и технические данные. Описаны наиболее типичные испарительно-распылительные системы и установки для нанесения тонких пленок. Даны практические рекомендации по использованию оборудовани...

Розанов Л.Н. Вакуумная техника

формат pdf
размер 12.05 МБ
добавлен 14 мая 2010 г.

Розанов Л. Н. Вакуумная техника: Учеб. для вузов по спец. «Вакуумная техника». — 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Высш. шк. 1990. — 320 с.: ил. ISBN 5-06-000479-1 В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки, принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин н установок, основы конструирования ваку...