М.: Машиностроение, 1989. - 56 с.
Рассмотрено применение электронных пучков в электронно-
литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии
производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство
и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и
дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой
обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические
процессы, в которых используются ионно -лучевые методы о6работки:
очистка, травление и полировка поверхности, нанесение пленок
распылением материалов пучком ионов, осаждение пленок из ионных
пучков.
Библ. : 7 назв. Ил.
25. Табл. 3.
Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии
Похожие разделы
Смотрите также
Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
М.: Машиностроение, 1987. – 72 с.: ил. Под ред. В. К. Сырчина. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставл...
Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
М.: Машиностроение, 1987. 72 с. В брошюре кратко рассмотрены вакуумные процессы в химически активной среде (плазмохимическое осаждение пленок при пониженном давлении и вакуумно-плазменное травление микроструктур). Дан анализ влияния различных факторов на параметры процессов осаждения и травления. Сформулированы требования к вакуумным насосам, используемым для откачки химически активных газов; рассмотрены и сопоставлены основные виды насосов.
Кеменов В.Н., Нестеров С.Б. Вакуумная техника и технология
М.: Издательство МЭИ, 2002. – 84 стр. Представлено описание основных областей применения вакуумной техники и технологии и дана краткая история развития вакуумной техники в России. Для студентов ИТТФ, ЭТФ МЭИ (ТУ) и МИЭМ (ТУ), обучающихся по специальностям «Техника и физика низких температур» и «Электронное машиностроение». История развития средств откачки в россии. Вакуумные технологии в металлургии. Вакуумные технологии в химии, нефтехимии и х...
Конев С.А. Вакуумная техника
1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...
Кузьмин В.В. Расчет и проектирование вакуумных машин и установок
Учебное пособие (лабораторный практикум). СПб: Изд-во СПбГТУ, 2000. - 19 с.: ил. Предназначено для магистров по специальности "Вакуумные машины и установки". Соответствует государственному образовательному стандарту по специальности 551800 "Технологические машины и оборудование". Главное внимание уделено описанию экспериментальной аппаратуры и процессу выполнения лабораторных работ. Кроме того, излагаются положения, раскрывающие физико-техническу...
Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме
Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.
Реферат - Методы получения тонких пленок
Рассмотрены основные методы получения тонких пленок: физические методы осаждения: термическое испарение за счет резистивного нагрева; электронно-лучевое испарение; лазерное испарение; ионно-лучевое распыление; катодное распыление; магнетронное распыление и химические методы осаждения: осаждение из газовой фазы; метод распылительного пиролиза; жидкофазная эпитаксия; электролиз; золь – гель метод. 18с.
Розанов Л.Н. Вакуумная техника
Москва. "Высшая школа".1990 г.320 с. В книге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки. Принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин и установок. Основы конструирования вакуумных систем.
Рот А. Вакуумные уплотнения
Пер. с англ. М., Энергия, 1971 г. Книга представляет собой наиболее полное справочное пособие, охватывающее различные технические приемы, используемые для создания вакуумных уплотнений. В ней описываются основные вакуумные уплотнения (сварные, паяные, спаи стекло-стекло, стекло-металл, стекло-керамика, керамика-металл, замазки, пластмассы, уплотнения на основе хлорного серебра, жидкостные уплотнения, эластомеры и уплотнения с металлическими прокл...
Саксаганский Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы
М.: Энергоатомиздат, 1988г. , 280с. Рассмотрены принципы работы испарительных геттерных, ионно-геттерных, магнитных электроразрядных, комбинированных насосов. Изложены принципы и критерии их оптимизации, типичные эксплуатационные режимы.