Саксаганский Г.Л. Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы

формат djvu
размер 975.92 КБ
добавлен 14 января 2011 г.

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1988. - 55 с.: ил.
(Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение").
Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов.
Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулированы принципы их геометрической и технико-экономической оптимизации. Изложены основы проектировочного расчета насосов, требования к их функциональным элементам.
Описаны конструктивно-технологические характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов на основе термических и плазменных источников возобновляемых геттерных пленок, конструкций интегрированного вакуумного тракта установок на их основе. Рассмотрены особенности эксплуатации вакуумных систем с испарительными насосами.
Содержание.
Основные характеристики испарительных насосов.
Принципы расчета и оптимизации испарительных насосов.
Испарительные геттерные насосы и агрегаты.
Испарительные ионно-геттерные насосы и агрегаты.
Эксплуатация вакуумных систем с испарительными насосами.
УДК 621.528.5/6.

Смотрите также

Васильев Г.А. Магниторазрядные насосы

формат pdf
размер 3.48 МБ
добавлен 22 марта 2011 г.

М.: Энергия, 1970. - 112 с., ил. Рассмотрены ионные магниторазрядные насосы с холодными катодами, в которых используется разряд Пеннинга. Основное внимание уделено физическим принципам работы подобных насосов, вопросам их конструирования и эксплуатации. Содержание. Магнито-изолированный газовый разряд. Диодный магниторазрядный насос. Эксплуатация магниторазрядных насосов. Методы улучшения характеристик магниторазрядных насосов.

Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии

формат djvu
размер 1 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

М.: Машиностроение, 1989. - 56 с. Рассмотрено применение электронных пучков в электронно- литографичес ких установках (ЭЛУ), используемых в технологии производства твердотельных электронных прибоpов. Описано устройство и принцип действия, приведе ны основные технические параметры ЭЛУ и дана их классификация. Описано оборудование ионно -лучевой обработки и eгo основные элементы. Рассмотрены технологические процессы, в которых используются ионно -л...

Данилин Б.С. Вакуумные насосы и агрегаты

формат djvu
размер 1.81 МБ
добавлен 17 февраля 2010 г.

Под ред. Нилендера Р. А. – М.: Госэнергоиздат, 1957. – 112 стр.: ил. В книги приводится описание принципов работы и конструктивного оформления вращательных и пароструйных металлических вакуумных насосов и вакуумных агрегатов отечественного производства с указанием ряда их эксплуатационных данных. Книга рассчитана на лиц, занимающихся выбором, монтажом и эксплуатацией вакуумного оборудования; она может служить также учебным пособием для студентов...

Конев С.А. Вакуумная техника

формат doc
размер 642.79 КБ
добавлен 12 февраля 2011 г.

1997 г. - 20 с.: ил. Механические вакуумные насосы. Определение быстроты действия насосов. - Метод постоянного давления. - Метод постоянного объема. - Метод капилляра. Эжекторные вакуумные насосы. Высоковакуумные пароструйные насосы. Молекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы. Адсорбционные насосы. Измерение давлений. - Механические манометры. Манометр Бурдона. - Жидкостные манометры. - Компрессионные манометры. Манометр Мак-Леода. - Те...

Контор Е.Н. Геттерные и ионно-геттерные насосы

формат pdf
размер 4.8 МБ
добавлен 22 марта 2011 г.

М.: Машиностроение, 1977. - 64 с.: ил. В брошюре изложены принципы действия и основные характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Рассмотрены наиболее распространенные типы насосов с термическим испарением геттера, магнитных электроразрядных и комбинированных насосов. Описаны метода расчета и проектирования, конструктивно-технологические решения и важнейшие параметры насосов, особенности их применения и эксплуатации.

Минайчев В.Е. Нанесение пленок в вакууме

формат djvu
размер 3.07 МБ
добавлен 01 сентября 2009 г.

Высшая школа. 1989. 110 с. Рассмотрены вопросы: нанесение пленок методами термического испарения, ионно-плазменного распыления; контроль параметров пленок и технологических режимов их нанесения; оборудование для нанесения пленок; электровакуумная гигиена и техника безопасности.

Пакулин В.Н., Потехин С.Л., Месеняшин В.Н. Тлеющий разряд в магнитном поле и магниторазрядные устройства вакуумного технологического оборудования

формат pdf
размер 4.65 МБ
добавлен 22 марта 2011 г.

М.: ЦНИИ "Электроника", 1984. - 60 с.: ил. - Обзоры по электронной технике. Серия 7. "Технология, организация производства и оборудование". - Вып. 10 (1035). Оглавление Параметры разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях. - Основные физические представления и аппроксимации. - Решение уравнений разряда. - Оптимизация параметров магниторазрядных приборов. Насосы на основе разряда в магнитном поле. - Магниторазрядные насосы. - Комби...

Саксаганский Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах

формат djvu
размер 2.67 МБ
добавлен 23 октября 2010 г.

Саксаганский Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. — М.: Атомиздат, 1980. — 216 с. Посвящена основам теории, методам расчета и оптимизации сложных высоковакуумных систем. Изложены теоретические модели и базирующиеся на них способы определения параметров сильно разреженного газа и характеристик элементов вакуумных систем. Приведены методика и результаты вычислений пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных...

Саксаганский Г.Л. Современные турбомолекулярные и электрофизические насосы

формат djvu
размер 1.67 МБ
добавлен 14 января 2011 г.

М.: ЦИНТИнефтехиммаш, 1981. - 104 с.: илл. (Обзорная информация. Серия ХМ-6 "Криогенное и вакуумное машиностроение"). В обзоре рассматриваются современное состояние и тенденции развития высоковакуумных насосов двух перспективных классов - турбомолекулярных и электрофизических. Приводятся конструктивно-физические характеристики насосов, их основные параметры н эксплуатационные особенности. Наибольшее внимание уделяется насосам, выпускаемым в промы...

Саксаганский Г.Л. Электрофизические вакуумные насосы

формат djvu
размер 3.2 МБ
добавлен 24 октября 2010 г.

М.: Энергоатомиздат, 1988г. , 280с. Рассмотрены принципы работы испарительных геттерных, ионно-геттерных, магнитных электроразрядных, комбинированных насосов. Изложены принципы и критерии их оптимизации, типичные эксплуатационные режимы.