Швец В.А., Спесивцев Е.В. Эллипсометрия

Новосибирск, издательство НГУ, 2013. - 87 с.
Учебно-методическое пособие по методу эллипсометрии. В книге рассмотрены основы метода и описание лабораторных работ.
Введение
Плоская электромагнитная волна, её распространение в среде.
Отражение плоской электромагнитной волны от исследуемой поверхности. Основные определения.
Основное уравнение эллипсометрии. Прямая и обратная задачи.
Однородная полубесконечная среда.
Однослойная модель.
Многослойная модель и оптически неоднородный слой.
Композиционные среды
Учет рельефа поверхности и размытия межфазных границ
Методы решения обратной задачи эллипсометрии
Графо-аналитический метод решения обратной задачи.
Численное решение обратной задачи
Определение большого числа неизвестных параметров и их корреляция
Спектральная эллипсометрия
Многотолщинные измерения
Решение обратной задачи для неоднородных слоев.
Методы измерения эллипсометрических параметров. Оптические схемы эллипсометров.
Оптические элементы эллипсометров
Описание Эллипсометрических установок и методические указания по выполнению лабораторных работ.
Спектральная эллипсометрическая установка
Сканирующий эллипсометр высокого пространственного разрешения
Методические указания по выполнению лабораторных работ