Кульментьев А.И., Кульментьева О.П. Методы анализа поверхности твердых тел

Подождите немного. Документ загружается.

151

ходимость познакомить с ними специалистов различного

профиля. Эта задача решалась в настоящем учебном посо-

бии, которое призвано помочь широкому кругу студентов

и выпускников вузов сделать первые шаги на пути к глу-

бокому пониманию основных физических закономернос-

тей поверхностных явлений.

Данное учебное пособие состоит из двух частей. В

первой из них обосновывается, почему исследования по-

верхности важны как для науки, так и для технологии, и

описываются некоторые особенности пространственной

структуры, электронной подсистемы и композиционного

состава поверхностей. Подчеркивается, что на поверхно-

сти реализуется тесная взаимосвязь между электронными,

атомными и молекулярными процессами, протекающими

как в твердом теле, так и в адсорбционной фазе.

Во второй части рассказывается о существующих в

настоящее время методах анализа поверхности. Число та-

ких методов насчитывает несколько десятков, и для удов-

летворения технологических потребностей постоянно соз-

даются новые методики и приборы. Тем не менее, принцип

их действия сводится к нескольким фундаментальным про-

цессам, которые управляют взаимодействием потоков час-

тиц и излучений с веществом. В пособии в качестве примера

подробно рассмотрена электронная оже-спектроскопия и по-

казано, как этот метод, обладающий высокой поверхностной

чувствительностью, в совокупности с ионным распылени-

ем можно использовать для профилирования по глубине.

152

Приложение А

(справочное)

Аббревиатуры и полные названия методов исследования

поверхности, приведенные в табл.3,4

AEAPS Auger electron appearance potential spectroscopy

AES Auger electron spectroscopy

AFM Atomic force microscopy

APFIM Atom probe field-ion microscopy

BIS Bremsstrahlung isochromat spectroscopy or

ILS: ionization loss spectroscopy)

DAPS Disappearance potential spectroscopy

EDXS Energy-dispersive X-ray spectroscopy

EELS Electron energy loss spectroscopy

EFTEM Energy-filtered Transmission Electron Microscopy

ELL Ellipsometry

ERDA Elastic Recoil Detection Analysis

ESD Electron-stimulated desorption or

EID: electron-induced desorption)

ESDIAD Electron-stimulated desorption ion angular distribution

FABMS Fast-atom bombardment mass spectrometry

GDMS Glow discharge mass spectrometry

153

Продолжение приложения А

GD-OES Glow discharge optical emission spectroscopy

IAES Ion (excited) Auger electron spectroscopy

IBSCA Ion beam spectrochemical analysis or

SCANIIR: surface composition by analysis of neutral

and ion impact radiation or

BLE: bombardment-induced light emission

IETS Inelastic electron tunneling spectroscopy

INS Ion neutralization spectroscopy

IPES Inverse photoemission spectroscopy

LA Surface Analysis by Laser Ablation

LEED Low-energy electron diffraction

LEIS Low energy ion scattering or

ISS: Ion scattering spectroscopy)

LIBS Laser-induced breakdown spectroscopy or

LIPS: Laser-induced plasma spectroscopy)

MQS Metastable quenching spectroscopy

NRA Nuclear Reaction Analysis

POSAP Position-sensitive atom probe

RAIRS Reflection-absorption infrared spectroscopy or

IRRAS: Infrared reflection-absorption spectroscopy or

IRAS: Infrared absorption spectroscopy

or ERIRS: External reflection infrared spectroscopy

154

Продолжение приложения А

RHEED Reflection high-energy electron diffraction

RBS Rutherford back-scattering spectroscopy or

HEIS: high-energy ion scattering)

SAM Scanning Auger microscopy

SERS Surface-enhanced Raman scattering

SFG Sum Frequency Generation

SHG Optical Second harmonic generation

SIMS Secondary-ion mass spectrometry

SSIMS: static secondary-ion mass spectrometry

DSIMS: dynamic secondary-ion mass spectrometry

SNMS Secondary neutral mass spectrometry

STM Scanning tunneling microscopy

STS Scanning tunneling spectroscopy

SXAPS Soft X-ray appearance potential spectroscopy or

APS: appearance potential spectroscopy

TXRF Total reflection X-ray fluorescence analysis

TDS Thermal desorption spectroscopy

UPS Ultraviolet photoelectron spectroscopy

XPS X-ray photoelectron spectroscopy or

ESCA: electron spectroscopy for chemical analsis

XRD X-ray diffraction

155

Приложение Б

(справочное)

Энергии связи некоторых элементов, эВ

156

СПИСОК РЕКОМЕНДУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. Приборы и методы физического металловедения / Под

ред. Ф.Вейнберга. – М.: Мир, 1974. – Вып.2. – 368 с.

2. Методы анализа поверхности / Под ред. А.М.Зандерны.

– М.: Мир, 1979. – 582 с.

3. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой:

Физическое распыление одноэлементных твердых тел

/ Под ред. Р.Бериша. – М.: Мир, 1984. – 336 с.

4. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. –

Вып. II: Распыление сплавов и соединений, распыление

под действием электронов и нейтронов, рельеф поверх-

ности / Под ред. Р.Бериша. – М.: Мир, 1986. – 488 с.

5. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследова-

ния поверхности. – М.: Мир, 1989. – 564 с.

6. Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и

тонких пленок. – М.: Мир, 1989. – 344 с.

7. Егорушкин В.Е., Кульментьев А.И., Савушкин В.Е. и др.

Электроны и фононы в неупорядоченных сплавах. –

Новосибирск: Наука. Сиб. отд., 1989. – 272 с.

8. Зенгуил Э. Физика поверхности. – М.: Мир, 1990. –

536 с.

9. Праттон М. Введение в физику поверхности. – Ижевск:

НИЦ «Регулярная и хаотическая динамика», 2000. –

256 с.

10. Surface and Thin Film Analysis: Principles, Instrumenta-

tion, Applications / Ed. H.Bubert, H.Jenett. – Darmstadt:

Wiley-VCH, 2002. – 336 p.

157

Навчальне видання

Кульментьєв Олександр Іванович,

Кульментьєва Ольга Петрівна

Методи аналізу поверхні

твердих тіл

Навчальний посібник

(Російською мовою)

Дизайн обкладинки та комп’ютерне

верстання О.І. Кульментьєва та О.П. Кульментьєвої

Редактор Н.А.Гавриленко

Підп.до друку 03.07.2008.

Формат 60х84/16. Папір офс. Гарнітура Times New Roman Cyr. Друк офс.

Ум. друк. арк. 9,07. Обл.-вид. арк.6.46.

Тираж 100 пр.

Зам. №

Видавництво СумДУ при Сумському державному університеті

40007, м. Суми, вул. Р.-Корсакова, 2

Свідоцтво про внесення суб’єкта видавничої справи до Державного реєстру

ДК № 3062 від 17.12.2007.

Надруковано у друкарні СумДУ

40007, м. Суми, вул. Р.-Корсакова, 2.