61
с этой контрольной операции дальнейшая обработка может быть групповой либо
индивидуальной.
Зондовый контроль осуществляется на автоматических установках путем
перемещения групповой пластины под головкой, несущей контактные щупы (зонды),
с шагом, соответствующим размерам ячейки, и последовательного контактирования
зондов с периферийными контактами каждой ячейки. При наличии годной ячейки
вырабатывается сигнал на очередное перемещение на шаг, в противном случае —
сигнал на маркировочное устройство, наносящее цветную метку на
дефектную
ячейку. В дальнейшем на групповой пластине наносятся риски по границам ячеек
(операция
скрайбирования), пластина разламывается на отдельные ячейки-
кристаллы и дефектные кристаллы (несущие метку) отбраковываются.
Монтаж кристалла в полых корпусах сводится к его установке и фиксации с
помощью приклеивания или пайки на основании корпуса, а в сплошных
(полимерных) корпусах — на промежуточном носителе. Затем периферийные
контакты кристалла соединяют с внешними выводами корпуса. Способ монтажа
выводов, так же как и способ герметизации ИМС (пайка, сварка, заливка и др
.),
зависят от конструкции корпуса. Монтажно-сборочные операции чередуются с
межоперационным контролем, имеющим цель не пропустить бракованные изделия
на дальнейшую обработку и выявить нарушения в технологическом процессе. На
завершающем этапе производятся электрический контроль ИМС по статическим и
динамическим параметрам, их классификация и маркировка, а также выборочные
механические и климатические испытания.
Основную
часть производственного цикла по длительности составляют этапы
формирования структуры ИМС. Однако групповая обработка, а также возможность
многоместной обработки (одновременно нескольких групповых пластин) на ряде
операций (диффузия, эпитаксия, окисление, химическая обработка) снижают
трудоемкость в пересчете на одну ИМС, поэтому особое внимание должно быть
обращено на снижение трудоемкости операций индивидульной обработки. На
этой
стадии процесса производства необходимо использовать автоматические средства
сборки и контроля, что, в свою очередь, требует разработки конструкций корпусов,
допускающих возможность применения группового контактирования, многоместной
обработки при установке кристалла и герметизации, автоматической подачи и
ориентации изделий при сборке и электрическом контроле и других прогрессивных
технологических методов.
Экономическая целесообразность автоматизации операций
данной группы
подкрепляется единообразием технологических операций и применяемого
оборудования, которые для определенной конструкции корпуса практически не
зависят от структуры ИМС и ее функционального назначения. На этом основании
может оказаться эффективным выделение процессов третьей группы в
специализированные предприятия.
Микроклимат и производственная гигиена
. Исключительно важное значение
для обеспечения высокого процента выхода годных ИМС и воспроизводимости их
параметров имеют стабильность климатических условий производства, а также
высокая чистота производственной атмосферы, технологических газов и жидкостей
в сочетании с использованием сверхчистых основных материалов
(полупроводниковых, легирующих, изолирующих и др.).
К
климатическим параметрам производственных помещений относят
температуру и влажность, совокупность которых определяет понятие
микроклимата. Определенная и стабильная температура необходима прежде всего
для фотолитографических операций и операций, связанных с изготовлением
фотошаблонов. В условиях жестких требований к точности элементов
топологического слоя ИМС (десятые и сотые доли микрометра) существенным