Захаров А.Н Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки

Дисертация

формат rtf
размер 5.36 МБ
добавлен 02 июля 2011 г.

Захаров А.Н Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки

Автореферет дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук. Томск- 2011, 22с.
Специальность 05.27.02 - вакуумная и плазменная электроника
Работа выполнена в Учреждении Российской академии наук Институте сильноточной электроники Сибирского отделения РАН
Цель работы состояла в разработке методов, технологий и эффективного технологического оборудования, в том числе МРС для нанесения энергосберегающих (низкоэмиссионных и электрохромных) тонкопленочных покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки.

Похожие разделы

Смотрите также

Дороднов А.М., Кузнецов А.Н., Леонтьев С.В. Методика инженерно-физического расчета электродугового источника плазмы для процессов нанесения покрытий в вакууме

формат jpg
размер 25.04 МБ
добавлен 05 ноября 2011 г.

МГТУ им. Н.Э. Баумана 1999, 34 стр. Метод генерации плазмы катодными пятнами вакуумной дуги дает возможность получать сильно ионизованную плазму любых проводящих веществ. В отличив от процессов с тепловой природой (энергия частиц Е = кТ = 1 . 0,3 эВ, где к - константа Больцмана), в которых практически отсутствует ионизация рабочего вещества, в рассматриваемом методе генерируется практически полностью ионизованная плазма с аномально высокими энерг...

Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы с электромагнитами

Дисертация

формат doc
размер 1.54 МБ
добавлен 12 июня 2011 г.

Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Духопельников Дмитрий Владимирович. Специальность 01.04.14 – Теплофизика и теоретическая теплотехника. Работа выполнена в Московском государственном техническом университете им. Н. Э. Баумана (МГТУ им. Н. Э. Баумана). Москва – 2007, 18 с.

Зыков А.В., Фареник В.И., Юнаков Н.Н. Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий

Практикум

формат pdf
размер 372.01 КБ
добавлен 01 июля 2011 г.

Учебно-методические указания. Учебно-научный комплекс физических технологий Харьковского национального университета им. В.Н. Каразина и Научного физико-технологического центра ХГНУ, Харьков, 1999., 22с. Методические указания могут быть использованы при изучении курсов «Функциональные покрытия», «Современные вакуумно-плазменные технологические системы», которые читаются студентам 4-5 курсов кафедры Физических технологий Физико-технического факульт...

Коротеев А.С. Плазмотроны. Конструкции, характеристики, расчёт

формат djv
размер 8.01 МБ
добавлен 24 апреля 2009 г.

Плазмотроны: конструкции, характеристики, расчет / А. С. Коротеев, В. М. Миронов, Ю. С. Свирчук. - М.: Машиностроение, 1993. - 296 с. Приведены результаты исследований и разработок электродуговых плазмотронов постоянного и переменного тока и методы их расчёта. Описаны схемы, конструкции и характеристики ряда оригинальных плазмотронов, обладающих широким диапазоном параметров нагреваемого газа и высокой эффективностью. Большое внимание уделено оп...

Котов Д.А. Исследование вольтамперных характеристик интегрированной ионно-плазменной системы

Статья

формат pdf
размер 249 КБ
добавлен 23 мая 2011 г.

Статья. Опубликована в Доклады БГУИР, 2003, т.1, №2, с.78-82. Интегрированная система ионно-ассистированного магнетронного распыления была разработана для расширения возможностей управления параметрами осаждаемых пленок. Преимуществом предлагаемого способа нанесения является высокая скорость роста покрытия с заданной структурой и соответственно физико-химическими свойствами. Приведена схема устройства и результаты исследований вольтамперных харак...

Кривобоков В.П. Плазменные покрытия (свойства и применение)

формат pdf
размер 1.69 МБ
добавлен 01 августа 2011 г.

Учебное пособие. - Томск, ТПУ, 2011. - 137 с. В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы и вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены...

Кузьмичев А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Введение в физику и технику магнетронного распыления

формат pdf
размер 11.38 МБ
добавлен 24 июня 2010 г.

Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений, специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных...

Хороших В.М., Белоус В.А. Пленки диоксида титана для фотокатализа и медицины

Статья

формат pdf
размер 402.3 КБ
добавлен 08 ноября 2011 г.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, с.223 - 238 В обзоре рассмотрены основные методы получения диоксида титана в виде тонких пленок. Результаты анализа литературных данных позволяет сделать заключение о том, что наиболее предпочтительным методом получения фотокаталитических пленок диоксида титана является процесс осаждения потоков плазмы вакуумной дуги в присутствии кислорода. Наилучшими свойствами обладают пленки, получаемые с п...

Mahan J.E., Physical vapor deposition of thin films

формат pdf
размер 5.18 МБ
добавлен 05 марта 2011 г.

Wiley, New York, 2000, 312 c. В книге сначала представлено введение о принципах и разрядных системах, используемых для плазменного осаждения пленок. Затем приведена кинетическая теория газов. Рассмотрены механихмы адсорбции и конденсации на поверхности. Дается краткий обзор о вакуумных системах, способах создания и контроля вакуума. Описаны источники, основанные на испарении, распылительные системы (RF, DC, магнетронные), а также механизмы, участ...

Powell R.A., Rossnagel S.M. Thin Films

формат pdf
размер 13.6 МБ
добавлен 02 марта 2011 г.

San Diego, Academic Press, 1999, 419 p. Рассмотрены различные конструкции плазменных распылительных систем для осаждения тонких пленок, а также происходящие в них физические процессы. Кроме Введения, содержит следующие главы: 1) Физика распыления 2) Плазменные системы 3) Планарный магнетрон 4) Распылительные устройства 5) Направленное осаждение 6) Планаризованное PVD: использование повышенных температур и/или высокого давления 7) Ионизованное маг...