Гудкова С.А. Исследование структуры и свойств двух и трехкомпонентных оксидов TixAL1-xOy, сформированных методом атомарно-слоевого осаждения

Гудкова С.А. Исследование структуры и свойств двух и трехкомпонентных оксидов TixAL1-xOy, сформированных методом атомарно-слоевого осаждения
  • разное
  • pdf
  • 608.31 КБ
  • добавлен 06.11.2011
Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук, Долгопрудный – 2011, 21с.
Специальность 01.04.07 – физика конденсированного состояния
Работа выполнена в государственном образовательном учреждении высшего профессионального образования Московский физико-технический институт (государственный университет).
Целью работы являлось создание методики создания тонких пленок двух и трехкомпонентных оксидов TixAl1-xOy посредством атомарно-слоевого осаждения в широком диапазоне концентраций, изучение их физико-химических, электрофизических свойств и биосовместимости.
Одной из наиболее перспективных технологий является метод атомарно-слоевого осаждения, основанный на последовательности самонасыщаемых химических реакций реактивов (прекурсоров) с поверхностью. Такой метод позволяет контролировать толщину нанесения пленки с точностью 0.3 - 0.5 монослоя. Подобный способ осаждения применяется для бинарных соединений, преимущественно оксидов, в частности, оксиды титана и алюминия. Диоксид титана находит свое применение в области биомедицинского материаловедения, как покрытие имплантатов, стимулирующее за счет своей кристаллической структуры рост костной ткани.
В тоже время для микроэлектроники TiO2 является уникальным диэлектриком с высокой диэлектрической постоянной ~100 . Однако, свойства диоксида титана, полученного методом -слоевого осаждения, для этих целей не изучены.

Смотрите также


Гусев С.А.(ред) Электрорадиоматериалы

Гусев С.А.(ред) Электрорадиоматериалы

  • разное
  • doc
  • 1.95 МБ
  • добавлен 07.05.2011
Методические указания к лабораторным работам. Изд. второе пер. и доп.; Балт. гос. техн. ун -т, СПб. , 2000, 25с. Ил. 26, табл. 18.

Содержание.
Исследование электрических свойств проводниковых материалов.
Исследование свойств терморезисторов.
Исследование свойств варисторов.
Исследование свойств фоторезис...
Лабораторная работа - Исследование фотоэлектрических свойств полупроводников

Лабораторная работа - Исследование фотоэлектрических свойств полупроводников

  • лабараторные
  • doc
  • 174.5 КБ
  • добавлен 26.01.2011
Изучение фотоэлектрической зависимости электропроводимости полупроводников методом экспериментального исследования вольтамперных и люксамперных характеристик фоторезисторов.
Лабораторная работа - Исследование температурных свойств электронно-дырочных переходов

Лабораторная работа - Исследование температурных свойств электронно-дырочных переходов

  • лабараторные
  • doc
  • 255 КБ
  • добавлен 26.01.2011
1) изучение свойств плоскостных р-n переходов путем практического снятия и исследования их вольтамперных характеристик;
2) исследование влияния на свойства р-n перехода температуры.
Чеботаренко О.Б. Учебно-методическое пособие - Исследование характеристик сегнето- пьезоматериалов по петлям деформации в сильных электрических полях инфранизкой частоты

Чеботаренко О.Б. Учебно-методическое пособие - Исследование характеристик сегнето- пьезоматериалов по петлям деформации в сильных электрических полях инфранизкой частоты

  • разное
  • doc
  • 4.8 МБ
  • добавлен 16.09.2010
Учебно-методическое пособие «Исследование характеристик сегнето- пьезоматериалов по петлям деформации в сильных электрических полях инфранизкой частоты» предназначено для студентов, факультета Высоких технологий. В нем даны некоторые основные понятия физики сегнетоэлектричества. Описаны особенности электромеханических свойств се...
Иванов В.П., Пручкин В. А Физико-химические основы РЭС

Иванов В.П., Пручкин В. А Физико-химические основы РЭС

  • разное
  • pdf
  • 622.54 КБ
  • добавлен 20.06.2011
Зубец В. В., Попов В. Ф. 2-е изд. Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2004. 56 с.
Методическое пособие содержит указания к выполнению лабораторных работ по изучению структуры и электрических свойств материалов электронной техники, а также влияния на них внешних факторов.
Лабораторные работы предназначены для студентов...
Иванов В.П., Пручкин В.А. Физико-химические основы РЭС

Иванов В.П., Пручкин В.А. Физико-химические основы РЭС

  • разное
  • pdf
  • 657.7 КБ
  • добавлен 16.06.2011
Методическое пособие. Иванов В. П., Пручкин В. А., Зубец В. В., Попов В. Ф. - Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2001. 55 с.
Методическое пособие содержит указания к выполнению лабораторных работ по изучению структуры и электрических свойств материалов электронной техники, а также влияния на них внешних факторов.
Лаб...
Гольцман Б.М., Дашевский З.М., Кайданов В.И., Коломоец Н.В. Пленочные термоэлементы: физика и применение

Гольцман Б.М., Дашевский З.М., Кайданов В.И., Коломоец Н.В. Пленочные термоэлементы: физика и применение

  • разное
  • djvu
  • 6.28 МБ
  • добавлен 18.02.2011
М. Наука. 1985. 233 с.
Теория явлений переноса и методы их исследования в полупроводниковых пленках
Влияние технологии получения пленок термоэлектрических материалов на их свойства
Исследование электро- и теплофизических свойств термоэлектрических пленок
Пленочные термобатареи и их использование в метрологии
Лабораторная работа - Исследование резистивного усилителя низкой частоты с емкостной связью в схеме с ОЭ

Лабораторная работа - Исследование резистивного усилителя низкой частоты с емкостной связью в схеме с ОЭ

  • лабараторные
  • docx
  • 16.88 КБ
  • добавлен 07.01.2011
Пгту, специальность АТ, преподаватель Андреев ГЯ
Экспериментальное исследование усилительного каскада, задание режима покоя (рабочей точки) транзистора, исследование амплитудной и амплитудно-частотной характеристик усилителя, определение параметров усилителя. Работа без графиков.
Смирнов В.И. Физико-химические основы технологии электронных средств: учебное пособие

Смирнов В.И. Физико-химические основы технологии электронных средств: учебное пособие

  • разное
  • pdf
  • 1.06 МБ
  • добавлен 30.01.2012
Ульяновск: УлГТУ, 2005.- 112 с. ISBN 5-89146-600-0
Рассмотрены основные технологические операции производства электронных средств с точки зрения физических явлений, сопутствующих или лежащих в основе той или иной операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем, которые реализуются в приповерхностно...
Бондаренко Г.Г. и др. Оксидные пленки на поверхности металла: современное состояние исследований и проблемы практического использованияы

Бондаренко Г.Г. и др. Оксидные пленки на поверхности металла: современное состояние исследований и проблемы практического использованияы

  • разное
  • pdf
  • 1.01 МБ
  • добавлен 22.05.2011
Статья. Опубликована в Материалы VI Международной научно-технической конференции,
21 – 23 октября 2008 г. М. МИРЭА с.170-176
Одно из важнейших требований, предъявляемых к катодам газоразрядных
лазеров – способность сохранять рабочие параметры при контакте эмитируюших по-
верхностей с заряженными и ускоренными час...