Саблев Л.П. и др. Сжатый вакуумно-дуговой разряд и его применение для нагрева изделий в вакуумных печах отжига и химико-термической обработки

Статья. Опубликована в ВАНТ, 2007, №2, с.190-202 Кратко рассмотрено современное состояние проблемы генерирования потоков эрозионной вакуумно-дуговой плазмы, очищенной от макрочастиц катодного материала. Приведены реферативные описания 27 вакуумно-дуговых источников плазмы с магнитными фильтрами, предназначенных для использования в технологических процессах осаждения плёнок микро- и нанометрового диапазонов толщин. Использованы материалы патентов...

М.: ЦНИИатоминформ, 1984г. - 84с. Анализируется способы и устройства для генерации металлической плазмы, основанные на использовании вакуумно-дугового разряда с расходуемым катодом. Рассматриваются работы, связанные, главным образом, с проблемами ионно-плазменной технологии обработки материалов и техники получения вакуума. Особое внимание уделено вопросам управления плазмой скрещенными E- и H- полями: фокусировке, отклонению, транспортировке и се...

До?алы разрядты? оптикалы? (пирометр к?мегімен до?аны? температурасын аны?тау) ж?не электрлік (вольтамперлік сипаттамасы) ?асиеттерін зерттеу.

Статья. Опубликована в Вопросы атомной науки и техники,№2,2001,2с. Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W. Та. стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке.

Статья. Опубликована в УФЖ,2003г., т.175, №5, с.515-544. Обзор. Рассмотрено современное состояние работ по использованию плазменных струй для модификации поверхностных слоев металлических изделий и исследованию процессов легирования и массопереноса элементов. Обсуждается влияние параметров термической плазмы на эффективность обработки поверхности металлических изделий, в. ч. импульсной плазмы.

Статья. Опубликована в сборнике научных трудов Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов. Х., ХАИ, 2010, с. 304 - 310. Во многих технологических плазменных процессах и операциях, где зачастую основная роль принадлежит тлеющему разряду, возникает проблема несанкционированного его перехода в дуговой разряд. Такое самопроизвольное дугообразование наблюдается при азотировании в стационарном тлеющем разряде, при ионной оч...

Статья. Опубликована в сборнике научных трудов Вопросы проектирования и производства конструкций летательных аппаратов. Х., ХАИ, 2010, с. 280-295. В работе выполнены комплексные исследования надежности и долговечности систем инициирования вакуумно-дугового разряда в технологических источниках плазмы различного типа: контактные с искровым поверхностным пробоем, двухступенчатые системы запуска с автономным плазменным инжектором и системы поджига, о...

Статья. Опубликована в ФIП ФИП РSE. 2003 т.1 с.19- 24. Библ. - 73наим. В работе выполнен обзор по применению плазмы стационарного вакуумно-дугового разряда с интегрально холодным катодом для получения покрытий различного назначения. Исследовано изменение параметров плазмы при взаимодействии ее с газовой мишенью в объеме вакуумной камеры.

Статья. Опубликована в ФІП ФИП PSE, 2006, т. 4, № 3 – 4, с.136-142 Предложена модернизация вакуумно-дуговых установок, в том числе типа Булат и ННВ 6.6, для реализации метода плазменной ионной имплантации и осаждения (метод PBII&D). Процессы ионного азотирования изделий и последующего осаждения покрытий осуществляются при приложении к обрабатываемому изделию постоянного и высоковольтного импульсного потенциалов с различными частотами и амплит...

Статья. Опубликована в Журнал технической физики, 2004, том 74, вып. 5 с.24-29. Дуговой разряд в скрещенных электрическом и магнитном полях с холодным полым катодом вследствие поступления электронов из катодного пятна, инициируемого на внутренней поверхности катода разрядом по поверхности диэлектрика, горит стабильно при низких давлениях рабочего газа и зависящих от магнитного поля и рода газа напряжениях 20-50 V в диапазоне разрядных токов 20-2...